מכשיר מיקרו-אלקטרומכני ושיטת הייצור שלו ואלמנטים למימוש טכני

מרכיבי יישום טכניים:

4. לאור הבעיות הנ"ל, מוצעת ההמצאה הנוכחית. ההמצאה הנוכחית מספקת מבנה חדש של מכשיר ממס, שיכול להימנע משימוש בקורות שלוחות, בעל עמידות גבוהה יותר ובעל מבנה פשוט יותר. ההמצאה הנוכחית מספקת גם שיטת ייצור חדשה של התקן mems, שיש לה שלבי תהליך פשוטים ויכולה לשפר את תפוקת הייצור.

5. לפי התגלמות לדוגמה, התקן מיקרו-אלקטרומכני עשוי לכלול: מצע מבודד; עמוד תמיכה מותקן על המצע, עמוד התמיכה תומך במסת הוכחה; מקיף את המצע על המצע זוג אחד או יותר של לוחות אלקטרודה המסודרים על בלוק המסה, כל זוג של לוחות אלקטרודות מסודר בצדדים מנוגדים של בלוק המסה; ולוחית כיסוי מבודדת, שעליה מסודר זוג לוחות אלקטרודה התואמים לזוג אחד או יותר של לוחות אלקטרודות או זוגות מרובים של אלקטרודות, כאשר לוחית הכיסוי מכסה את זוג לוחות האלקטרודות האחד או יותר, זוגות האחד או יותר של אלקטרודות נמצאות במגע חשמלי בהתאמה עם זוג אחד או יותר של לוחות אלקטרודות.

6. בכמה התגלמויות, עמוד התמיכה, הוכחה-מסה וזוג אחד או יותר של לוחות אלקטרודות נוצרים מחומר מוליך או מוליכים למחצה, ומובילים מוליכים המחוברים לעמוד התמיכה מחוברים מצד אחד של המצע. הובלה החוצה, המוליכים המוליכים המחוברים לזוג אחד או יותר של אלקטרודות מובלים החוצה מצד אחד של לוחית הכיסוי.

7. בחלק מהתגלמויות, לוחית הכיסוי נוצרת עם פתח בין זוג האלקטרודות אחד או יותר כדי לחשוף את עמוד התמיכה ואת מסת ההוכחה.

8. בכמה התגלמויות, גובה מסת ההוכחה נמוך מגובה זוג אחד או יותר של לוחות אלקטרודות.

9. בכמה התגלמויות, ההתקן המיקרו-אלקטרומכני משמש כמד תאוצה וזוג אחד או יותר של לוחות אלקטרודה משמשים למדידת שינויים בקיבול עקב שינויים במיקום של מסת ההוכחה.

10. בהתגלמויות מסוימות, ההתקן המיקרו-אלקטרומכני משמש כגירוסקופ, וזוג אחד או יותר של לוחות אלקטרודה כוללים לפחות זוג ראשון של לוחות אלקטרודה וזוג שני של לוחות אלקטרודות, זוג לוחות אלקטרודה הראשון עבור כונן A האות מופעל כדי להניע את מסת ההוכחה לתנודה בין הזוג הראשון של לוחות האלקטרודות, והזוג השני של לוחות האלקטרודות משמש למדידת שינויים בקיבול עקב שינויים במיקום מסת ההוכחה.

צור קשר:

Email: zhang@pride-cnc.com

טל: פלוס 86-755-23699351

אספסוף: פלוס 8618666663894