שיטה לייצור רכיב מיקרומכני למכשיר חיישן או מכשיר מיקרופון

מרכיבי יישום טכניים:

3. ההמצאה הנוכחית מציעה רכיב מיקרו-מכני להתקן חיישן או התקן מיקרופון עם התכונות של תביעה 1, ושיטה לייצור רכיב מיקרו-מכני להתקן חיישן או התקן מיקרופון עם התכונות של תביעה 5.

4. יתרונות ההמצאה

5. הקונסטרוקציה לפי ההמצאה המבוססת על שכבת קורבן אחת לפחות של חומר שכבת קורבן מבודד חשמלית אחת לפחות של הרכיב המיקרו-מכני המוצע על ידי ההמצאה וזהה התצורה לפי ההמצאה של אזור בידוד אחד לפחות העשוי מ- לפחות חומר בידוד חשמלי אחד מחומר שכבת הקרבן המבודדת, על מנת להגדיר את חלל הרכיב המיקרומכני, ניתן לבצע תהליך המתאים להסרה חלקית של שכבת ההקרבה האחת לפחות ללא צורך בדאגה לפגיעה או הסרה לפחות אזור אחד של בידוד. ההמצאה מאפשרת אפוא לצייד את הרכיב המיקרו-מכני המתאים על פי ההמצאה לפחות באזור בידוד אחד המתאים באופן יתרון לבידוד חשמלי של מבנה האלקטרודה מהממברנה, בין שכבת חומר הממברנה לשכבת חומר האלקטרודה. בידוד חשמלי ו/או הפרדה של אזור שיורי אחד לפחות של שכבת קורבן אחת לפחות מהחלל. ההמצאה משפרת אפוא את הרכיב המיקרומכני על פי ההמצאה בהשוואה לאומנות הקודמת ותורמת בנוסף להפחתת עלויות העבודה ואת הרכיב המיקרומכני על פי ההמצאה לייצור הרכיב המיקרומכני על פי עלות הייצור של ההמצאה.

6. אזור הבידוד האחד לפחות להפרדת אזור השיורי האחד לפחות של שכבת ההקרבה האחת לפחות עשוי לשמש כ"הגנה לחריטה" מפני חריטה לא רצויה של האזור השיורי האחד לפחות במהלך בניית החלל. במקביל, מושג לפחות אזור בידוד אחד הבנוי מחומר מבודד חשמלי אחד לפחות להפרדת האזור השיורי האחד לפחות.

צור קשר:

Email: zhang@pride-cnc.com

טל: פלוס 86-755-23699351

אספסוף: פלוס 8618666663894