שיטת הדבקה ישירה של רקיק ספיר למבנה רגיש ללחץ ספיר

1. ההמצאה הנוכחית שייכת לתחום הטכני של טכנולוגיית הממס, בפרט לשיטה להדבקה ישירה של פרוסות ספיר של מבנה רגיש ללחץ ספיר.

טכניקת רקע:

2. טמפרטורת ההפעלה של חיישני לחץ מוליכים למחצה מסורתיים היא בדרך כלל מתחת ל-600 מעלות. טמפרטורת ההפעלה המקסימלית של חיישן הלחץ sic piezoresistive היא 600 מעלות, טמפרטורת הפעולה המקסימלית של חיישן לחץ ה-soi היא מתחת ל-500 מעלות, וטמפרטורת הפעולה המקסימלית של חיישן הלחץ סיליקון-ספיר. טמפרטורה 350 מעלות. קשה ליישם חיישני לחץ חשמליים בסביבות טמפרטורות גבוהות יותר.

3. נכון לעכשיו, מוצרי חיישן לחץ סיבים אופטיים המבוססים על שבבי ספיר הופיעו בחו"ל, כגון חיישן לחץ סיבים אופטיים wave-phire dpt950 של חברת oxsensis הבריטית, טמפרטורת העבודה המקסימלית יכולה להגיע ל-600 מעלות, וקצה הבדיקה יכול להגיע 1000 מעלות. עם זאת, תוצאות המחקר של חיישני לחץ סיבים אופטיים המבוססים על שבבי ספיר לא דווחו בסין. מסמך פטנט סיני cn103234673 חושף מבנה מיקרו-ננו של חיישן לחץ עמיד לטמפרטורה גבוהה, הכולל: דיאפרגמה סיליקון קרביד, סרט מחזיר אור, סרט חצי רפלקטיבי, שכבת מליטה, מצע סיליקון קרביד, שכבת עטיפה וספיר סיב אופטי; הסרט הרפלקטיבי מצופה באמצע דיאפרגמת הסיליקון קרביד, הסרט הרפלקטיבי למחצה מצופה בקצה סיב הספיר, שכבת החיבור (סיליקון דו חמצני) ממוקמת בין דיאפרגמת הסיליקון קרביד למצע הסיליקון קרביד, וסיבי הספיר מחוברים למצע הסיליקון קרביד דרך שכבת האנקפסולציה (דבק קרמי בטמפרטורה גבוהה). תהליך ההכנה של חיישן הלחץ לעיל הוא יצירת חלל הפרעה של Fabry-Parot על ידי שימוש בסרט רפלקטיבי מצופה על דיאפרגמה סיליקון קרביד וסרט חצי רפלקטיבי מצופה בקצה סיב אופטי ספיר כדי לממש זיהוי לחץ בגובה גבוה. סביבת טמפרטורה.

4. נכון לעכשיו, תהליך ההדבקה הישירה של רקיקי ספיר (ברמת רקיק) עדיין בשלב המחקר התיאורטי, ועדיין אין טכנולוגיית תהליך ההדבקה הישירה של פרוסות ספיר בוגרות (ברמת רקיק). בסין, הדבקה ברמת רקיק מכוונת לרוב לחומרים המבוססים על סיליקון, וטמפרטורת ההדבקה היא מתחת ל-500 מעלות, כגון התקשרות סיליקון-סיליקון, הדבקה אנודית סיליקון-זכוכית וכו'. שיטה לשבבי ספיר רגישים ללחץ, רק הטמפרטורה היא 1350 מעלות, ללא בקרת לחץ (לחץ) במהלך תהליך ההדבקה, וללא בקרת צימוד של טמפרטורה ולחץ.

צור קשר:

Email: zhang@pride-cnc.com

טל: פלוס 86-755-23699351

אספסוף: פלוס 8618666663894