מערכת ושיטה ננו-מרוכבים לחקר ננו-חומרים

1. ההמצאה הנוכחית מתייחסת לתחום ציוד מחקר מדעי ברמת מחקר בננו, ובפרט, לתחום מערכת משולבת בקנה מידה ננו ושיטה לחקר ננו-חומרים.

טכניקת רקע:

2. מדע ננו הוא מדע החוקר את חוקי הפיזיקה בטווח של 100 ננומטר, והתפתחותו אינה ניתנת להפרדה מהפיתוח ופריצות הדרך בתחום ציוד המחקר המדעי. סוגי ציוד המחקר הננו-מדעי הנפוץ כוללים ציוד לעיבוד מיקרו-ננו, כגון מכונות ליתוגרפיה, מכונות חשיפה לקרן אלקטרונים וכו', ציוד בקרת נכסים פיזיים, כגון ציוד לשינוי המאפיינים האלקטרו-אופטיים של דגימות וכו'. , וציוד לאפיון מאפיינים פיזיים, כגון מיקרוסקופ כוח אטומי, שולחן מחט בדיקה, ספקטרומטר וכו'.

3. עם זאת, הפונקציות של ציוד המחקר המדעי היחיד שהוזכר לעיל הם פשוטים יחסית. לדוגמה, תפקידו העיקרי של ציוד עיבוד המיקרו-ננו הוא לעבד את מבנה המיקרו-ננו של המדגם, ואי אפשר לצפות ישירות ולאפיין את מבנה המיקרו-ננו המעובד. דגימות טובות נלקחות מהמכשיר לצורך אפיון נוסף. מצד שני, ציוד לאפיון מאפיינים פיזיים אינו יכול לבצע ננו-ייצור של דגימות או לשלוט בתכונות הפיזיקליות של דגימות, והוא יכול לספק רק אפיון של דגימות שעברו עיבוד או דגימות שתכונותיהן הפיזיקליות הותאמו. בפרט, הרגולציה של תכונות אופטיות וחשמליות של דגימה היא לרוב לא קבועה, חולפת ומשתנה באופן דינמי עם הסביבה והזמן של הדגימה. לכן, חשוב מאוד לבצע בזמן אמת בקרת מאפיינים פיזיים ואפיון מאפיינים פיזיים של המדגם במקום, והוא המפתח לשאלה האם ניתן לצפות בחוק השינוי של התופעה הפיזית החולפת של המדגם.

4. נכון להיום, השילוב של ציוד מחקר מדעי יכול לפתור חלק מהבעיות הנ"ל, כמו השילוב של מיקרוסקופיה של כוח אטומי וספקטרוסקופיה של ראמאן, שיכולה לאפיין בו זמנית את התכונות הפיזיקליות של המורפולוגיה של המדגם ושל ספקטרוסקופיה של ראמאן; מיקרוסקופ כוח אטומי ובדיקות חשמליות השילוב של הפלטפורמה יכול לממש את אפיון המאפיינים הפיזיים של המורפולוגיה ומאפייני ההובלה החשמלית של המדגם בו זמנית. עם זאת, ההשפעה של סופרפוזיציה ושילוב פשוטים אינה אידיאלית, ועדיין בלתי אפשרי לממש את עיבוד המיקרו-ננו, בקרת המאפיינים הפיזיים ואפיון המאפיינים הפיזיים במקום בו-זמנית של המדגם, מה שמגביל מאוד את המחקר על התכונות הפיזיקליות הבסיסיות של ננו-חומרים ומחקר ופיתוח של ננו-מכשירים. עם ייצור.

צור קשר:

Email: zhang@pride-cnc.com

טל: פלוס 86-755-23699351

אספסוף: פלוס 8618666663894